真空燒結(jié)爐是專門為第三代稀土永磁材料NdFeB燒結(jié)研制的，還可用于NdFeB永磁材料時(shí)效和往磁處理，稀有金屬及其合金的燒結(jié)和熱處理，小型工、模具的淬火和回火等。為滿足被處理材料的工藝要求，加熱時(shí)，高真空燒結(jié)爐上下閥門封閉，工件區(qū)全封閉，加熱器周邊均布，因而熱損小，溫度均勻。由于熱區(qū)材料選用鉬、陶瓷纖維不銹鋼材料，工件環(huán)境純潔，無高溫?fù)]發(fā)物質(zhì)污染被處理材料。冷卻時(shí)，上下閥打開，通過爐子后部特殊設(shè)計(jì)的風(fēng)冷換熱系統(tǒng)，可對(duì)爐內(nèi)工件進(jìn)行強(qiáng)制氣體循環(huán)冷卻。一般來說，燒結(jié)工藝對(duì)設(shè)備的真空度、溫度等參數(shù)要求較高，特別是對(duì)溫度控制的要求十分苛刻，最大溫差一般不答應(yīng)超過給定值的±3～5℃。本設(shè)備恒溫區(qū)尺寸650（L）×450（W）×400（H）mm，最高溫度1300℃，溫度均勻度±5℃，最大加熱功率63KW（磁調(diào)容量）。由于在真空中加熱，其熱損失小、耗能低、漏氣率低、工作環(huán)境純潔，保溫性能很好，升溫速度較快。根據(jù)真空燒結(jié)爐的特點(diǎn)，采用以89C51單片機(jī)為核心構(gòu)成的模糊控制器對(duì)爐溫進(jìn)行自動(dòng)檢測和調(diào)節(jié)，達(dá)到均勻加熱的目的。 

在真空和保護(hù)性氣氛中，對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般采用兩種工藝；即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí)，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國沿未見定型產(chǎn)品。根據(jù)制備硼化物陶瓷材料的工藝要求，經(jīng)過一年多的努力，作者自行研制成功一臺(tái)真空熱壓燒結(jié)爐，使用效果良好。

該真空熱壓燒結(jié)爐工作溫度高、真空度高、壓合力大、冷卻條件好。整個(gè)爐體除發(fā)熱和保溫部件外，其余各部位均強(qiáng)烈冷卻，這對(duì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和制造精度都提出了較高的要求。

真空熱壓燒結(jié)爐由爐體、爐蓋、保溫桶、熱壓裝置、發(fā)熱體和電源、真空系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)及測溫系統(tǒng)等組成。

（1） 爐體全部采用不銹鋼制造，為雙層結(jié)構(gòu)，分內(nèi)外桶體，爐底封頭采用旋壓工藝加工。因?yàn)闊釅貉b置產(chǎn)生的力要由爐體承受，爐體必須具有很高的強(qiáng)度和足夠的剛度，在外力和高溫下不得變形。爐底動(dòng)密封裝置的固定座中心線與爐體上法蘭盤必須垂直，以保證下頂桿運(yùn)動(dòng)的直線度。動(dòng)密土封裝置固定座有良好的冷卻條件，以延長密封件的使用壽命。

（2） 爐蓋由爐蓋體、舉起油缸和上壓頭組成。爐蓋為雙層結(jié)構(gòu)，為承受下頂桿傳遞的壓力，必須具有足夠的強(qiáng)度和剛度。上壓頭的下端工作時(shí)處于高溫區(qū)，必須強(qiáng)制冷卻。

（3） 保溫桶由隔熱桶、反射桶、保溫層及桶體組成，分別用石墨、鉬片、石墨氈和不銹鋼制作。用鉬片制作的反射桶主要抵御由發(fā)熱元件產(chǎn)生的輻射熱，以免損害保溫層和爐體

高真空燒結(jié)爐